Odparowanie maszyny do powlekania próżniowego jest ważnym procesem
Zostaw wiadomość
Odparowanie maszyny do powlekania próżniowego jest ważnym procesem
Przeanalizowano charakterystyki kontroli grubości powłoki powlekarki elektronowej EI-5Z. Za pomocą wyników eksperymentów i badań teoretycznych przeprojektowano bardziej praktyczną płytkę regulacyjną i uzyskano lepszą wydajność folii: odchylenie w obrębie podłoża wynosiło ±3 procent, a odchylenie między tą samą partią podłoży mieściło się w zakresie ±5 procent Wewnątrz. Spełniają wymagania masowej produkcji.
W produkcji półprzewodników parowanie jest ważnym procesem. Dokładność kontroli grubości powłoki jest kluczowym wskaźnikiem do pomiaru efektu parowania, który bezpośrednio wpływa na dalszy proces produkcyjny i wydajność produktu końcowego. W produkcji masowej z jednej strony kładzie się nacisk na dokładny pomiar grubości folii, z drugiej na równomierność grubości folii, czyli zmianę grubości warstwy z powierzchnią podłoża i zmianę grubości warstwy między podłożami w różnych pozycjach na stojaku — istnieją również wysokie wymagania.
Podstawowa zasada odparowywania maszyny do powlekania próżniowego
Odparowanie jest najstarszą techniką w sposobie osadzania cienkich warstw w warunkach próżni. Z biegiem czasu, w wielu zastosowaniach, została ona stopniowo zastąpiona innymi metodami, takimi jak SPUTERRING czy PECVD, ale wszędzie tam, gdzie duże powierzchnie wymagają szybkiego osadzania cienkich warstw, technologia odparowywania jest nadal najczęściej stosowanym i ekonomicznym rozwiązaniem.
Techniczna zasada parowania jest bardzo prosta. Substancję przeznaczoną do odparowania (źródło parowania) umieszcza się w określonym pojemniku (tyglu) w określonej komorze, w której będzie wykonywana operacja odparowywania i ogrzewa się do określonej temperatury w warunkach próżni. Istnieją dwie metody ogrzewania odparowanego materiału, wiązką elektronów wzbudzoną przez indukowane pole magnetyczne lub ogrzewanie drutem oporowym. W części komory parowania, która nie jest chroniona przez przesłonę, odparowane substancje osadzają się na powierzchni, tworząc cienką warstwę.
www.superbheater.com
