Idealna grubość powłoki do srebrzenia próżniowego

Idealna grubość powłoki do srebrzenia próżniowego

Grubość odnosi się do odległości między dwiema idealnie płaskimi równoległymi płaszczyznami, a pojęcie to jest pojęciem geometrycznym. Idealna grubość powłoki odnosi się do odległości między powierzchnią podłoża a powierzchnią folii. W trójwymiarowym pomiarze topografii filmu, w stosunku do grubości filmu, można powiedzieć, że inne pomiary dwuwymiarowe są nieskończone. Ponieważ rzeczywista powierzchnia jest nierówna i nieciągła, aw filmie mogą znajdować się pory, zanieczyszczenia, defekty sieci i cząsteczki adsorpcji powierzchni, cała grubość filmu musi być ściśle określona i dokładnie zmierzona. jest bardzo trudny. Bit definicji grubości warstwy powinien być określony zgodnie z metodą pomiaru adresu i celem pomiaru adresu. Dlatego ta sama folia, stosując różne metody pomiaru, otrzyma różne wyniki, czyli różne grubości.

Srebrzenie próżniowe reaktywne napylanie katodowe

Pierwszym z nich jest użycie docelowych powłok złożonych. Podczas rozpylania, docelowy związek ulega rozkładowi w wyniku efektu bombardowania jonami. Na przykład, po użyciu czystego argonu jako gazu rozpylającego, stosunek stechiometryczny nowo wytworzonej folii zostanie zniekształcony. Aby zrekompensować utratę znanych składników, do argonu można dodać pewną ilość gazu reaktywnego w celu wytworzenia związków, aby zapewnić, że skład warstwy folii pozostanie niezmieniony.

Drugim jest użycie czystego metalu, stopu lub mieszaniny jako docelowej powłoki, w mieszanej atmosferze rozpylania złożonej z gazu obojętnego i gazu reaktywnego, poprzez rozpylanie i reakcję chemiczną w celu uzyskania filmu złożonego.

Główną różnicą między tymi dwiema postaciami jest szybkość osadzania i ciśnienie gazu reakcyjnego. Gazami reaktywnymi, które można wykorzystać do rozpylania reaktywnego, są: powietrze, tlen lub para wodna (do wytworzenia warstwy tlenkowej), azot lub NH3 (do wytworzenia warstwy azotkowej), tlen plus azot (do wytworzenia warstwy tlenoazotkowej), H2S (do wytworzenia warstwy tlenkowej). film siarczkowy) ), As (generowanie filmu arsenowego) itp. Niektóre z tych gazów muszą zwracać uwagę na kwestie bezpieczeństwa w użyciu.

Obecnie średnica cylindrycznego celu rozpylania magnetronowego osiągnęła 2,5 metra, a długość płaskiego celu rozpylania magnetronowego osiągnęła 6,5 ​​metra. Pojawienie się celów do napylania magnetronowego na dużą powierzchnię o dużej mocy otworzyło szeroką drogę do zastosowań w produkcji przemysłowej na dużą skalę.

www.superbheater.com