Lokalnie stężenie z prąd w próżnia powłoka maszyna

Lokalnie stężenie z prąd w próżnia powłoka maszyna

Μ wyrzucony część z wysoki elektron gęstość punkt będzie generować a wysoki gęstość prąd, i wysoki gęstość prąd może generować dżul ciepło i make temperatura z the point continue to rise, emiting hot elektron. This phenomenon results in a localized concentration of current.

Dżul ciepło generowane przez zlokalizowane stężenie z prądu może indukować masowy jony i elektron emisja z katody materiał % 2c uwalnianie stopiony katoda materiał cząstki i opuszczenie rozładowanie ślady.

Część jony w a duża liczba wyrzucone jony będą zasysane z powrotem do powierzchnia z katody materiału do regeneracji the space charge layer and the strong electric field, and the newly generated point with a small work function will start to emit elektrony again.

Elektrony są emitowane od ziarno granice próżnia powlekanie

Metal jony są przyciągane do powierzchni z katody i mogą generować a przestrzeń ładunek warstwa. The strong electric field triggered during this time causes elektronów to be ejected from microcracks or grain boundaries with small work function on the catod surface.

Podciśnienie wewnętrzna ściana i cel źródło anoda z próżnia powłoka maszyna

After many collisions, the energy of the electrons gradually decreases, gets rid of the shackles of the magnetic field lines, and finally falls on the substrate, the inner wall of the vacuum chamber and the anode of the target source. Under the acceleration of the high-voltage electric field, the Ar plus ions collide with the target and release energy, causing the atoms on the surface of the target to absorb the kinetic energy of the Ar plus ions and break away from the original lattice, and the neutral target atoms escape from the surface of the target. Fly to the substrate and deposit a thin film on the substrate.

www.superbheater.com