Podstawowa koncepcja powlekania PVD powlekarki próżniowej

Podstawowa koncepcja powlekania PVD powlekarki próżniowej

PVD to skrócona forma angielskiego „Physical Vapor Deposition”, co oznacza fizyczne osadzanie z fazy gazowej. Obecnie odparowywanie próżniowe, napylanie katodowe, powlekanie jonowe itp. Ogólnie określamy jako fizyczne osadzanie z fazy gazowej.

Bardziej dojrzałe metody PVD to głównie powlekanie wielołukowe i rozpylanie magnetronowe. Sprzęt do powlekania wielołukowego ma prostą konstrukcję i jest łatwy w obsłudze. Jego źródło parowania jonów może być zasilane z zasilacza spawarki elektrycznej, a proces zajarzania łuku jest podobny do procesu spawania elektrycznego. W szczególności, przy pewnym ciśnieniu procesu, igła zapłonu łuku i źródło jonów parowania są na krótko stykane i odłączane, tak że gaz się rozładowuje. Ponieważ tworzenie się poszycia wielołukowego jest głównie spowodowane ciągłym poruszaniem się plamki łuku, na powierzchni źródła parowania w sposób ciągły tworzy się stopiona pula, a po odparowaniu metalu osadza się na podłożu w celu uzyskania cienkiej warstwy warstwa. W porównaniu z rozpylaniem magnetronowym ma nie tylko wysoki stopień wykorzystania materiału docelowego, ale ma również zalety wysokiej szybkości jonizacji metali i dużej siły wiązania między folią a podłożem. Ponadto kolor powłoki wielołukowej jest stosunkowo stabilny, zwłaszcza przy wykonywaniu powłoki TiN, każda partia może łatwo uzyskać ten sam stabilny złoty żółty, który jest poza zasięgiem rozpylania magnetronowego. Wadą powlekania wielołukowego jest to, że w warunkach powlekania niskotemperaturowego przy tradycyjnym zasilaniu prądem stałym, gdy grubość powłoki osiąga 0,3 μm, szybkość osadzania jest zbliżona do współczynnika odbicia, a tworzenie się filmu staje się bardzo trudny. Ponadto powierzchnia filmu zaczyna być zamglona. Inną wadą powlekania wielołukowego jest to, że ponieważ metal odparowuje po stopieniu, osadzone cząstki są większe, gęstość jest niska, a odporność na zużycie jest gorsza niż w przypadku metody rozpylania magnetronowego.

www.superbheater.com