Parametry regulacji rozpylania magnetronowego powlekarki próżniowej

Parametry regulacji rozpylania magnetronowego powlekarki próżniowej

Szerokie zastosowanie sprzętu do powlekania przez napylanie magnetronowe zależy od charakterystyki technologii, którą można podsumować w następujący sposób: różne materiały, z których można przygotować cele, mogą być stosowane jako materiały cienkowarstwowe, w tym różne metale, półprzewodniki, materiały ferromagnetyczne materiały, jak również tlenki izolacyjne, ceramika, polimery itp.

Ponadto parametry regulacji rozpylania magnetronowego mogą dostroić wydajność filmu, szczególnie nadaje się do powlekania dużych powierzchni, a obszar osadzania jest bardziej jednolity.

Impedancja plazmy napylającej magnetronem do powlekania próżniowego jest niska

Sprzęt do powlekania przez napylanie magnetronowe może przygotowywać różne cienkie warstwy, cienkie warstwy o różnych funkcjach, a także może osadzać mieszaniny i łączyć cienkie warstwy z mieszanymi składnikami; impedancja plazmowego rozpylania magnetronowego jest niska, co skutkuje wysokim prądem wyładowania, przy napięciu około 500V. Prąd wyładowania może wynosić od 1A do 100A (w zależności od długości katody); szybkość tworzenia filmu jest wysoka, a szybkość osadzania można zmienić z 1 nm/s na 10 nm/s; konsystencja tworzenia filmu jest dobra, nawet w katodzie o długości kilku metrów. W przypadku napylania katodowego nadal można zapewnić spójność warstwy filmu; wzrost temperatury podłoża jest niski; energia napylonych cząstek wynosi około dziesiątek elektronowoltów, tworzenie filmu jest stosunkowo gęste, a podstawa filmu jest dobrze związana.

Temperatura ogrzewania wyposażenia maszyny do powlekania próżniowego jest zbyt wysoka:

Ponieważ moc grzałki pompy dyfuzyjnej nie odpowiada mocy znamionowej, jest zbyt wysoka, co powoduje dużą ilość pary, co może spowodować powrót oleju i można to rozwiązać, wymieniając drut pieca elektrycznego.

Kanał wody chłodzącej maszyny do powlekania próżniowego nie jest gładki lub ciśnienie wody nie jest wystarczające:

W rezultacie zmniejsza się wydajność chłodzenia, górna część pompy dyfuzyjnej nagrzewa się, a opary oleju nie mogą być dobrze skroplone. Rozwiązaniem jest połączenie rury wlotowej pompy dyfuzyjnej ze źródłem powietrza o ciśnieniu 4 mpa w celu wydmuchania kamienia, a rura wylotowa jest również przedmuchiwana przy ciśnieniu 4 mpa. Jeśli kamień jest bardzo gruby i twardy, można wprowadzić rozcieńczony kwas solny. Lub wymień pompę dyfuzyjną.

www.superbheater.com