Galwanizacja próżniowa elektryczna rura grzewcza kwadrupolowe napylanie katodowe

Galwanizacja próżniowa elektryczna rura grzewcza kwadrupolowe napylanie katodowe

Na zasadzie napylania trójbiegunowego na zewnątrz komory powlekania mocowana jest cewka skupienia, zwana także anodą pomocniczą lub elektrodą stabilizującą. Funkcją cewki skupiającej jest gromadzenie elektronów między katodą docelową a anodą podłoża, podczas której tworzy się niskonapięciowa kolumna łuku plazmowego o wysokim natężeniu prądu, duża liczba elektronów zderza się z gazem w celu jonizacji i duża generowana jest liczba jonów. Elektrony wykonują ruch spiralny, co zwiększa odległość elektronów od kolektora elektronów, zwiększając tym samym prawdopodobieństwo jonizacji kolizyjnej, a gęstość prądu osiąga 2-5mA/cm2. Dodatkowo wężownica skraplacza pełni również funkcję stabilizacji wyładowania.

Ta metoda rozpylania nadal nie może stłumić bombardowania podłoża przez elektrony o dużej prędkości generowane przez tarczę, a także stwarza problemy, takie jak zanieczyszczenie filmu z powodu zanieczyszczeń we włóknie.

Galwanizacja próżniowa elektryczna rura grzewcza trójbiegunowe napylanie

Rozpylanie trójbiegunowe polega na dołączeniu elektrody, gorącej katody, do urządzenia do napylania dwubiegunowego, które emituje elektrony termionowe. Może nie tylko poprawić szybkość rozpylania, ale także sprawić, że kontrola warunków rozpylania będzie wygodniejsza. Gęstość prądu zwiększa się do 1-3mA/cm2, a docelowe napięcie zmniejsza się do 1-2kv. Gorąca katoda 0-50v polaryzacja ujemna. W ten sposób zwiększa się szybkość napylania i poprawia się jakość powłoki ze względu na zwiększoną próżnię osadzania.

Wady napylania diodowego do próżniowych galwanicznych elektrycznych rur grzewczych

Rozpylanie diodowe jest jedną z najwcześniejszych metod rozpylania. Wykorzystuje materiał powłokowy jako katodę i materiał powlekany jako anodę. Katoda jest podłączona do ujemnego prądu stałego o wysokim napięciu 1-3 KV, a anoda jest zwykle uziemiona. Podczas pracy najpierw odkurz, a następnie przepuść argon, aby komora próżniowa osiągnęła ciśnienie rozpylania. Gdy zasilanie jest włączone, ujemne wysokie napięcie na tarczy katodowej generuje wyładowanie jarzeniowe między dwoma biegunami i tworzy strefę plazmy, w której dodatnio naładowane jony argonu są przyspieszane w celu bombardowania tarczy katodowej pod działaniem potencjału katody spadać w pobliżu katody, aby przyspieszyć powierzchnię materiału docelowego. Jest rozpylany i osadzany na powierzchni podłoża w stanie molekularnym lub atomowym, tworząc cienką warstwę materiału docelowego.

Największą zaletą tego urządzenia jest jego prosta budowa i wygodne sterowanie. Wady: folia jest rozmazana z powodu wysokiego ciśnienia roboczego; szybkość osadzania jest niska, a gruba warstwa powyżej 10um nie może być platerowana; temperatura podłoża jest zbyt wysoka z powodu bezpośredniego bombardowania podłoża dużą liczbą elektronów wtórnych.

www.superbheater.com